东方晶源微电子科技有限公司成立于2014年，注册资本26652.18万元，是北京市高新技术企业、北京经济技术开发区博士后科研工作站。创立之初即确立了以电子束图像检测、关键尺寸量测和计算光刻技术为主攻方向。多年来，在客户、股东及各级领导的支持下，东方晶源业绩斐然。截止目前，东方晶源成功自主研发了计算光刻软件(OPC)、纳米级电子束检测装备(EBI)和关键尺寸量测装备(CD-SEM)三款核心产品，填补了多项国内市场空白，已经成为解决我国集成电路领域“卡脖子”问题的重要力量，是目前国内唯一产线验证并实现订单的产品，对全产业链自主可控具有重要的战略价值和意义。成功被评定为第三批国家级专精特新“小巨人”企业。
本轮融资将有助于东方晶源加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程，加速在集成电路良率管理领域的整体布局。
